LN2流量コントローラー『MC-500シリーズ』
センサが直接気体に触れて計測するため、高速応答性を実現しています
『MC-500シリーズ』は、気化した窒素の質量流量を設定温度に合わせて コントロールするLN2流量コントローラーです。 温度コントローラー（MC-1000シリーズ）と合わせて使用します。 標準機能として瞬時／積算流量表示、ガス種類切替機能、 上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など 様々なニーズに対応できるよう各種装備しています。 【特長】 ■マイクロフローセンサは流路の壁面に設置され、 流れの抵抗となる構造体が少ない（低圧力損失） ■広い流量域での高精度を実現するため、マスフローメーターは RD（読み値）精度規定を採用 ■マスフロータイプには、アズビル株式会社製マスフローメーターを採用 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：コレット工業株式会社
- 価格：応相談
