8インチウェハ対応タイプ CVmap92 A/B
8インチウェハ対応タイプ
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV／IV測定システムです。 Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。 ユーザが最大４９箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-ｋ、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
- 企業：雄山株式会社 東京支店
- 価格：応相談
