8インチウェハ対応タイプ
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV／IV測定システムです。 Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。 ユーザが最大４９箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-ｋ、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
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基本情報
【特徴】 ○２点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器（Ａタイプ） ○３点からのプロービングを可能とし、この複合測定は擬似MOSFET状態を実現し、インシュレータ層の界面トラップ密度など､Top-Si層を除去することなしに測定可能 ○ウェハサイズは１～８インチまで対応し、最大４９サイトまでのマッピング測定が可能 ○TDDB、界面トラップ密度、ピンホール密度、キャリア濃度などの様々な評価ができる ●詳しくはお問い合わせください
価格情報
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納期
用途／実績例
ウェハーの検査
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企業情報
雄山株式会社計測機器部は、半導体、有機ＥＬ、液晶、太陽電池、燃料電池の研究開発や生産に必要な検査・解析・評価用装置の製造販売及び輸入販売を行っています。特に、特殊環境下での測定が必要な研究開発部門にて使用される装置開発を得意として最先端分野への納入実績も数多く有しています。又、現在は、従来のプロービング技術を基軸にそれがインテグレートされた応用技術分野への挑戦も行っており、将来は半導体を核とした応用技術も含め全ての分野での検査・解析・評価のサポートが出来る体制作りを目指しています。 【本社・支店所在地】 ◆神戸本社 〒650-0047 神戸市中央区港島南町１丁目４番地６ TEL（078）304-5178（DI） FAX（078）304-6087 ◆東京支店 〒107-0062 東京都港区南青山1-15-9 第45興和ビル TEL（03）3403−0771 FAX（03）3403-0813 ◆名古屋支店 〒460-0002 名古屋市中区丸の内2-19-25 ｙｈ丸の内ビル TEL（052）212-4932 FAX（052）212-4935