MEMS圧力センサー高速温特検査装置
MEMS圧力センサーの温度特性計測時間の大幅な短縮を実現した検査装置
『MEMS圧力センサー高速温特検査装置』は、冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、 MEMS圧力センサーを高速で温特計測が出来る装置です。 冷熱プレートを加減圧容器内に設けた方式により、3温度各3圧力テストを 30分で行なう事ができます。 また、本冷熱プレート式過熱冷却機構を利用して、圧力以外の温特試験の時間も 大幅に短縮することができます。 【特長】 ■バンププローブの採用により、小さな実装面積を実現 ■3温度各3圧力テストを30分で行なう事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ラポールシステム
- 価格：応相談
