異方性エッチング×豊和産業株式会社 - 企業1社の製品一覧

Si異方性エッチング

Si異方性エッチング

Si異方性エッチングは、Siの結晶軸方位を利用してハーフ穴及び貫通穴を施す技法です。 例えば、Siウエハー（＃100）型を異方性エッチングした場合、 結晶軸方向の54.7度の角度にて、シャープで高精度なパターン加工が可能です。 詳細はお気軽に「お問い合わせ」ください。

• 企業：豊和産業株式会社
• 価格：応相談

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