高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』
従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエータ
『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。 ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、 剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 【ミリオンアクチュエータの特徴】 ■繰り返し位置決め精度 ±1μm を実現！ ■ローラー式ガイドを採用しているため、振動が少なくなめらかで、 XY 方向繰り返し精度は従来品と比較して 3 倍以上！ ■省スペース＆一体構造のため、装置設計の時間短縮に貢献！ ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイセルグループ株式会社
- 価格：応相談
