高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』
繰り返し精度従来比３倍以上！位置決め精度±1.0㎛以下を実現した高精度アクチュエータ
「1㎛の剛性」、「1㎛の送り精度」、「1㎛の直進性」を持つ 高精度・高剛性な直動アクチュエータです。 転動体にニードルローラを採用することで高精度な直進性を実現した アイセル独自の『ミリオンガイド』を搭載しています。 繰り返し位置決め精度はX・Y・Z全方向±1.0㎛以下を実現しており、 サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、 光学機器のレンズやミラー調整、半導体製造装置用ステージなどの用途に最適です。 サイズは最小15角からと省スペースで、各種カスタム対応が可能です。 モータレスでの販売も実施しており、お好みのモータを取り付けることも可能です ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイセルグループ株式会社
- 価格：応相談
