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半導体のUV/O3精密洗浄工程で使用
UVCCSは管径φ6mmで冷陰極型の中型紫外線灯です。 寿命が長いのが特徴です。 254nm付近の殺菌波長を効率よく発光し、殺菌用や脱臭用として使用します。 また、半導体のUV/O3精密洗浄工程でも使用できます。 オゾン発生タイプ（185nm)とオゾンフリータイプが有ります。 直管タイプ 直管タイプなので、並べて使うと大きな面積を照射できます。 リード線タイプ、ソケットタイプを制作できます。 オゾン特性 低圧水銀灯から放出される１８５nm の遠紫外線（または真空紫外線）が、空気中の酸素を効率よくオゾン化します。 また、発生したオゾンにより、より強力に除菌・脱臭が可能となります。 水殺菌や農業、医療、食品などありとあらゆる分野でしようされています。
薬品殺菌などと異なり、耐性菌を作らないので安心してご使用いただけます。
紫外線透過率が極めて高い石英ガラスを使用した殺菌灯です。 高度な封体加工技術により様々な形の紫外線灯が試作可能です。 紫外線（254nm） 熱陰極型殺菌灯は紫外線（254nm）により、照射すると即座にウイルスや細菌を不活性化します。また薬品殺菌などと異なり、耐性菌を作らないので安心してご使用いただけます。 オゾン特性 オゾンの殺菌効果は塩素の倍以上あります。また、紫外線殺菌とは異なり、離れた空間にまでオゾン分子が気流乗って匂いの粒子分解、消臭し、細菌などを除菌します。それにより効率的に除菌、脱臭が可能です。 有機物を分解 オゾンは除菌、脱臭効果だけでなく、強力な酸化効果により有機物を分解します。廃油処理、下水道のオイルトラップ、半導体作成時に必要な超純水の作成に使用されています。 耐水性仕様 こちらの直管型は水中点灯用として特殊二重管構造に対応可能です。二重管構造は低温においても殺菌線の低下が少なく、安定した殺菌が可能です。石英ガラス式のジャケット菅のみの販売も対応可能です。 注意:点灯には安定装置が必要です。
