半導体のUV/O3精密洗浄工程で使用
UVCCSは管径φ6mmで冷陰極型の中型紫外線灯です。 寿命が長いのが特徴です。 254nm付近の殺菌波長を効率よく発光し、殺菌用や脱臭用として使用します。 また、半導体のUV/O3精密洗浄工程でも使用できます。 オゾン発生タイプ（185nm)とオゾンフリータイプが有ります。 直管タイプ 直管タイプなので、並べて使うと大きな面積を照射できます。 リード線タイプ、ソケットタイプを制作できます。 オゾン特性 低圧水銀灯から放出される１８５nm の遠紫外線（または真空紫外線）が、空気中の酸素を効率よくオゾン化します。 また、発生したオゾンにより、より強力に除菌・脱臭が可能となります。 水殺菌や農業、医療、食品などありとあらゆる分野でしようされています。
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用途／実績例
紫外線硬化樹脂へ照射 タイヤのひび割れテスト 光触媒のテスト UVカットガラスの透過度テスト カラー鋼板の耐候性加速試験 培地の部分殺菌による比較テスト 樹脂板の耐候性テスト 塗装の耐候性テスト UV印刷の乾燥 透明UVインクの読み取り 紫外線除草効果 樹脂基板の紫外線表面改質 ガラスレンズの紫外線（UV）洗浄 紫外線照射によるビタミンDの合成 二酸化硫黄の紫外線蛍光法 総タンパク質定量法の吸光光度法の光源 ウラン鉱の定量化紫外線蛍光法 薄層クロマトグラフィーの光源
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