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直進導入機 - 企業1社の製品一覧

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中空直進導入機

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

  • スパッタリング装置
  • CVD装置
  • その他半導体製造装置

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