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最終更新日：2020年09月11日
真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。
中空直進導入機
中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能 シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能 ベーキング温度120℃(最大150℃まで)対応
高真空領域まで使用可能です。
真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness
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