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真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール
『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■同軸3軸構造でありながら、高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広い用途に応じて機種を設定！あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ソリッドシャフトフェローシール』には、ミニチュアタイプ、 スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、 幅広い用途に応じて機種が設定してあります。 シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、 キー溝機構を標準品として定めており、その他オプションとして、 フラット面、ネジ付、及び穴付等の設定も可能です。 【特長】 ■高温・高荷重、高速回転使用に対応できる水冷タイプあり （ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除く） ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カートリッジ機構採用！既存のシャフトに合体することができる真空シール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ホローシャフトフェローシール』は、カートリッジ機構であり 既存のシャフトに合体することができます。 スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が 設定してあります。 その他オプションとして、シャフト固定用クランプのないタイプも ご用意しております。 【特長】 ■回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとは Oリングによって静的にシールされる ■クランプによってシャフトとスリーブは固定される ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
