セラミック製品 超精密真空チャック
材料を創設し、いつの日かを創造する
ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。 各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。
- 企業:株式会社NTKセラテック
- 価格:応相談
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材料を創設し、いつの日かを創造する
ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。 各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。