周辺機器 真空プローバーシステム
お客様のニーズに応えて新しい真空システムの誕生です！
当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム 『周辺機器 真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空チャンバー部分は内寸φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と 大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能 ○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ） ○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）：3ポート ○真空排気ポート（NW40)：1ポート ○プローブ移動機構：X-Y-Zステージ 移動量±5ｍｍ 目盛り付き移動シール部 真空ベローズ ○プローブ先端金具：先端部首振り可能（ねじ固定式） ○探針：タングステン針（先端25μｍ） ○試料台寸法：φ70ｍｍ接地型 ○最大基板：口30ｍｍ ○高真空バルブ：NW40アングルバルブ
- 企業：株式会社エイエルエステクノロジー
- 価格：応相談
