更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低真空の新しいベンチマーク
パーティクルや蒸気を含んだガスの処理に適した堅牢なポンプ。 ステンレス製のクローとコーティングされた真空チャンバーの耐腐食性に優れた設計。 メンテナンス頻度が少なく、またハウジングとクローは現場で簡単に取り外して洗浄が可能です。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS１５００ ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量！最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューション。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力 圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。 ３～7割の省エネになるケースもあります！ ■ 排気がクリーン 圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染 されたり、汚染されたガスが周囲に排 気されることがありません。 ■ フレキシブル 可変速ドライブ （VSD）搭載。お客様用途に合わせ柔軟に適応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広いラインナップから適したポンプを選択することが可能。
一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。 低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと 組み合わせることにより高真空を得ることもできます。 排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。 【主な特徴】 - 低圧でも高い排気速度 - 低い騒音レベルとスムーズな操作 - 内蔵の効率的な排気フィルターによるオイルミストの少ない排気ガス - 冷却効率の高い空冷式（標準）・オプションで水冷式も選択可能 - 省スペース、簡単な設置 - 堅牢かつ容易なメンテナンス性 - SOGEVC SV 100B以上のサイズはルーツポンプに直接接続が可能 - 高い水蒸気許容量 - 豊富なアクセサリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
基本流量: 4.2 - 4.8 l/min ～ 到達真空度: 4.2 - 5.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
N84.4シリーズ 基本流量: 4.8 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 2.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa) N84.5シリーズ 基本流量: 10 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 1.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
