更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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メンテナンスの手間を格段に低減！ライフサイクルコスト削減にも貢献いたします。
これまでスクロール式で高い評価を頂いておりましたオイルフリー真空ポンプに、新しく『ロータリーベーン式』がラインアップに加わりました！ 【コンセプト】 オイルフリーベーン式のメンテナンスサイクルが短いことによるお客様の3つの悩みを解決します！ ・ベーン交換のやり方がわからない ・ベーン交換が面倒である ・メンテナンス頻度が多く、部品代がかさむ
サイドチャネルブロワのメンテナンス集を無料進呈中です。日常、定期点検、定期メンテナンスやフィルターの交換方法などを掲載。
日常点検、定期点検などをまとめたメンテナンス集をプレゼント中です。 ベッカーの真空ポンプはメンテナンスが容易で扱いやすいことが特徴です。 また、たった一つのシャフトと直駆動というシンプルなつくりなため、メンテナンスコストとランニングコストが低く、丈夫で長寿命のポンプを実現しました。 【特長】 ■完全ドライ、オイルレス ■モーター直結のコンパクトで斬新なデザイン ■静音、長寿命 ■高真空度、高吐出圧 ■小型から大容量まで豊富な品揃え ■世界各国に広がる販売とアフターサービスネットワーク ※詳しくはお問合せいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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必要なものは六角レンチだけ！ドライ真空ポンプのメンテナンス集を無料進呈中です。
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真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。
メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生産活動に貢献いたします。 【事業内容】 ○海外真空プロセス設備の販売、各社中古真空プロセス装置販売 ○各社半導体用真空設備の修理 ○真空搬送ロボット修理 ○各社電源修理 ○半導体装置のパーツ設計販売 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
定額コストでメンテナンス期間中の停止時間を最小限に抑える、サステナブルで包括的なメンテナンスソリューション
予防保全のためのライボルトのエクスチェンジサービス。予防メンテナンスを容易に実施でき、費用は固定費用のみです。
ロータリーベーン式ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、大型のドライブロワーポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ロータリーベーン式ドライブロワーポンプ DT4シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、小型のドライブロワーポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ロータリーベーン式ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライブロワーポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
配管を外さなくても簡単、スピーディーなメンテナンスが可能！
真空ポンプ用トラップ ATE型はコンパクトな製品です。ライン接続ができ、トラップ内部が見えるため、メンテナンスが容易な点が特徴です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
