真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。
メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生産活動に貢献いたします。 【事業内容】 ○海外真空プロセス設備の販売、各社中古真空プロセス装置販売 ○各社半導体用真空設備の修理 ○真空搬送ロボット修理 ○各社電源修理 ○半導体装置のパーツ設計販売 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【取り扱い製品】 ○イオンビームエッチング ○イオンビームスパッタリング ○イオンスパッタリング ○インライン型スパッタリング装置 ○光学薄膜成膜装置 ○ガスクラスターイオンビーム装置 ○加速中性原子ビーム装置 ○円形スパッタリングカソード ○短形スパッタリングカソード ○シリンダー型スパッタリングカソード ○スパッタ用各種ターゲット ○高インパルススパッタ電源 ○アークプラズマ用パルス電源 ○プラズマCVD用パルス電源 ○メンテナンス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
メンテナンス・リサーチは最先端真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、 製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、 信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生産活動に貢献いたします。 メンテナンス・リサーチ株式会社は、お客様のご満足とご安心をモットーとして、今後とも技術力の研鑽に努めて参ります。 今後とも尚一層のご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。