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真空ポンプ(冷却) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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VP型真空ポンプ

業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のVP型真空ポンプ

VP型真空ポンプは、他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ・真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたYKSの直接口-ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ・オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口-ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為、製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。

  • 真空ポンプ

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真空機器 ルーツ式ドライ真空ポンプ VP3-2501

ドライ真空ポンプの問題点を解決!

四葉機械製作所独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○排気には封水・封油を含まずクリーンな真空 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現 ○独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式   回転するローター内部とケーシング・ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去   常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つ ○凝縮性ガス対応 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないので、廃液処理費が不要 ○ISO14001、PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式の為、各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応可能。

  • 真空ポンプ

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大容量ジャケットタイプ ルーツ式真空ポンプ VP3-2501

直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト

ドライ真空ポンプの問題点を解決! ジャケットタイプで大容量のルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適

  • ポンプ

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真空機器 ルーツ式ドライ真空ポンプ VPシリーズ

腐食性ガスの吸引に最適!

熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス(SCS13・14・16)を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライ真空ポンプ

  • 真空ポンプ

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ルーツ式ドライ真空ポンプ VPシリーズ

腐食性ガスに最適!

ドライ真空ポンプ全般で難しいとされている熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス(SCS13・14・16)を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライルーツ式真空ポンプで多くの納入実績を積んでいます。また、鋳造可能な耐食合金(Ni - Cr - Mo合金等)の製作も可能です。腐食でお困りのユーザー様は是非、ご検討下さい。

  • 真空ポンプ

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大容量ジャケットタイプ ルーツ式真空ポンプ〜VP3-2501〜

ドライ真空ポンプの問題点を解決! 大容量ジャケットタイプルーツ式真空ポンプ。廃液処理費がかからない!

【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適

  • 真空ポンプ

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • CVD装置

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-2501

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP4-651

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VM4-801

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VPM13-101001(特殊)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VMP13-30B2501

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-1501(空冷式)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-1501(直結式)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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