独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
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【用途】 ○真空蒸留 ○真空脱気 ○真空管層 ○CVD ○スパッタリング ○エッチング ○真空チャック
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独自の技術で貴社のニーズにお答え致します。 無理だと思った仕様が四葉機械なら実現できるかもしれません。 地球にやさしい性能を 創業当時から、私たちは『地球にやさしい性能』について取り組んできました。 それは、排気がクリーンな真空や排水処理などの環境対策、プラントのシンプル化への取り組み、エネルギー効率のコストダウン、プロセスの省エネ化など、現状を取り巻く、様々な問題に、あらゆる面で“環境に配慮した性能”を追求しています。製品・エンジニアリングを通じての環境保全・省エネ、効率化に役立ちたい。 また、新製品への取り組みや技術協力は、これまでの実績を活かし、その技術とノウハウの蓄積から最適な製品を、もっと多くのお客様に提供したい。 私たちの“やさしさ”を活かしたものづくり。最適なソリューションを提案します。 四葉機械製作所にご相談ください。