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真空ポンプ(小型) - メーカー・企業と製品の一覧

真空ポンプの製品一覧

1~2 件を表示 / 全 2 件

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位置決めテーブル『MT12VST』

コンパクト&高剛性!超小型ボディの位置決めテーブル

当製品は、高真空(1×10-5pa程度)対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ(予圧品)を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト&高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 真空機器

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真空対応 位置決めテーブル <MT>

真空対応 位置決めテーブル <MT>

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

  • その他半導体製造装置
  • その他理化学機器
  • 分析機器・装置

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