真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
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基本情報
真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の小型位置決めステージです。 【特長】 ◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） ◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） ◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 ◇案内系にクロスローラガイドを採用し高剛性・高精度を実現、安定 した動きを保証 ◇ＸＹ軸、ＸＹＺ軸、θ軸など多軸に組み合わせ可能なブラケット等 オプションも用意 ◇真空環境下以外でも、高温環境や放出ガスを嫌う環境などで使用 ◇同等性能でクリーン仕様ＪＩＳクリーンクラス４相当をクリアした ものも有り [仕様] 外形サイズ： Ｗ２６×Ｌ１１０×Ｈ３６［ｍｍ］ ストローク： １０［ｍｍ］ ※他ラインナップあります ⇒詳細はダウンロードからお問い合せ下さい。 ⇒真空対応品に関するご相談、見積などは下記コメントから お問い合せください。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
用途／実績例
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企業情報
〜当社は”ものづくり”にこだわり、自社の技術力を養い向上 それを活用し、また専門分野・得意分野を持った企業間を結び、 新たなものを創造していくことを目的に活動しています〜
