ファイファー社 OmniControl シリーズ
ファイファー社製新型コントローラです。 1~2ch の真空計と真空ポンプ(TMP or ドライポンプ)が1台で起動可能です。
下記真空計が起動可能です。 ●ピラニゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●フルレンジBAゲージ ●キャパシタンスゲージ 下記真空ポンプが起動可能です。 ●ターボ分子ポンプ ●スクロールポンプ ●ダイアフラムポンプ ●ルーツポンプ
- 企業:丸菱実業株式会社
- 価格:10万円 ~ 50万円
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ファイファー社製新型コントローラです。 1~2ch の真空計と真空ポンプ(TMP or ドライポンプ)が1台で起動可能です。
下記真空計が起動可能です。 ●ピラニゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●フルレンジBAゲージ ●キャパシタンスゲージ 下記真空ポンプが起動可能です。 ●ターボ分子ポンプ ●スクロールポンプ ●ダイアフラムポンプ ●ルーツポンプ
"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。 また、特許構造により、水蒸気の処理も可能になりました。"
オイル不使用のスクロール真空ポンプ、 課題であったメンテナンスコストを半分以下に抑えることを実現 しました。 従来1年に1回必要であったメンテナンスが、チップシールの磨耗 を抑えることで、2年半に1回でOK。 インバータ搭載型のため、回転数を制御することで、ランニングコストを抑えることもできます。 また、特許構造により、従来のスクロールポンプでは処理できなかった水蒸気の排気も行えます。 騒音値も従来の1/20に抑えました。