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水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型は2段ポンプで高真空用に LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高耐久性ドライ真空ポンプ SDEシリーズ
耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
定期メンテナンスは3年毎に一度のロングライフを実現！トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ！
定期メンテナンスは3年毎に一度のロングライフを実現 トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○ポンピング部に接触部が無いため 長期の使用による性能劣化がない ○空冷方式を採用 却水が不要なため、設置場所を選ばない ○ガスバラスト機構の採用により水蒸気排気が可能 ○本ポンプは、完全気密構造ではありません。 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
