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真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた 『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能 ○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（同時2源） ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ：ターボポンプ
貴重な有機材料を用いた研究開発・実験に。上位機種と同等の高純度な精製が可能
『P-20』は、小径サイズの石英炉を持った、極少量材料向け昇華精製装置です。 原材料のロスを軽減でき、希少な有機材料の研究・開発にも適しています。 独自の均熱管使用の傾斜温度構造により、なだらかな温度勾配での高純度精製が可能。 また、上位モデル「P-100/150/200」と同等の性能でありながら、卓上サイズにまで小型化。 設置が容易で、標準品のため低価格な点も特長です。 【特長】 ■極少量材料での高純度な昇華精製に対応 ■PID制御による室温～400℃までの加熱が可能 ■加熱ブロックの分割・温度コントロールに対応 ■ヒーター・熱電対の増設可能 ■標準化によるリーズナブルな価格設定 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます
当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える 『有機デバイス蒸着装置 E-100J』を設計・製造・販売しております。 ※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。 【特徴】 ○「E-100」の機能を生かした下位モデル ○「E-100」の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えている ○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置 ○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能 ○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置 ○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製 （E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能 ○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備
昇華精製装置で数グラム単位の精製が可能です。
当社では、数グラム単位の精製が可能な『昇華精製装置 P-100 Series』を製造販売しております。 【特徴】 ○原材料の投入量が数グラム前後の少量精製に適したサイズ ○試料の出し入れが容易な構造 ○450℃までの加熱が可能なので殆どの材料に適用する ○熱電対をヒータ部以外に、4個所設けているので最適な 再析出ポジションを決める目安にすることができる ○精製状態を確認することができる ○排気系にはファイファー製ターボ分子ポンプとメンプレンポンプを使用し、 完全ドライな排気系の設置により、クリーンな真空が容易に得られる ○大型サイズの液体窒素トラップを備えている ○メンテナンスの容易な構造 ○真空計には大気圧から高真空まで連続測定が可能なフルレンジタイプの 真空計を装備 ○クローブボックスへの接続が可能（特注仕様） ○省スペース設計で高いパフォーマンスを確保
