マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット
マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット
6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット 【特徴】 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現 ○センターチャンバーのメインポンプ（ターボ分子ポンプ）を 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空搬送ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 （但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用） ○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社メープル
- 価格：応相談
