マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット
6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット 【特徴】 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現 ○センターチャンバーのメインポンプ（ターボ分子ポンプ）を 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空搬送ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 （但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用） ○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット 【特徴】 ○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現 ○センターチャンバーのメインポンプ（ターボ分子ポンプ）を 上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現 ○独自開発の真空搬送ロボットを搭載 ○各室独立の真空排気系を装備 （但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用） ○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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精密加工・組立の分野で新たなステージによる展開を実現する、新組織・株式会社メープルの社名は、従来より引き継ぐ「組織は人」の基本ポリシーと、「人が考え人が創る」というコンセプトを具現化したものです。 Make People（メーク・ピープル）。「人が創る」と共に「人を創る」。社名に込められたこの姿勢こそが、私たちの今後ともに目指す組織と業務のあり方を象徴しています。
