サファイア基板エッチング用石英バス ＡＣＣＵＢＡＴＨ® Ｘｅ
サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス 最高300℃まで使用できる業界初の高温対応製品
Accubath® Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。 このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。 そして、私達は新たな課題に挑戦するためのシステムを構築しお客様に提供することができます。 Ａｃｃｕｂａｔｈ® Ｘｅシリーズバスの採用によって、お客様の希望するプロセスを安全にまた高い信頼性をもって生産することが可能になると確信できるでしょう。
- 企業：株式会社ヒロテック 東京営業所
- 価格：応相談
