サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス 最高300℃まで使用できる業界初の高温対応製品
Accubath® Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。 このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。 そして、私達は新たな課題に挑戦するためのシステムを構築しお客様に提供することができます。 Ａｃｃｕｂａｔｈ® Ｘｅシリーズバスの採用によって、お客様の希望するプロセスを安全にまた高い信頼性をもって生産することが可能になると確信できるでしょう。
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基本情報
Ａccubath Xeタンク接液部は全て高純度の石英で構成されており、タンク内ではテフロン継手やセンサ類も露出していません。さらに、凝縮コイル、自動開閉蓋も石英で製作されています。 さらに信頼性向上のため、ＩＭＴＥＣ社の特許技術であるＡｑｕａｓｅａｌ®を改良し、最も重要なシールの損傷を防止するためヒーターコンポーネントから周囲への断熱効果を高めました。 またハウジングも耐熱性・耐薬品性のより高いＨａｌａｒ®を使用しており、十分な断熱対策が施されています。 更に液温が下がるのを待つことなく、超高温のまま排液するための石英アスピレータを採用しました。排液された薬液はプロセス槽の下に設置した冷却コイル付のクールダウンタンクに移され、そこで冷却されます。 また万一のタンク破損に備え、タンク全容量を貯留可能な予備タンクも設置することができます。
価格情報
別途ご相談ください。 別途ご相談ください。
納期
※別途ご相談ください。
用途／実績例
サファイア基板/ＧａＮのウェットエッチングやシリコンナイトライドのエッチング時間短縮等
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企業情報
海外の電子電気機器を輸入販売する専門商社です。海外の最先端技術を応用した製品をいち早く紹介し、皆様のお役に立てる様に活動しています。 半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品を取扱っており各メーカーは非常にユニーク且つ特徴のある製品を製造しています。半導体産業においてはパターンの微細化が進んでおり、それに伴い洗浄効果が重要視されています。弊社が取扱っているIMTEC社製品は高性能、高効率、高清純、高純度で世界中の半導体ウェットプロセスのラインで使用されています。TREBOR社はノンメタルダイアフラムポンプにおいて常に業界をリードしています。 Celesco社製計測機器はあらゆる分野において直線変位または速度が簡単に計測できます。 信用第一、誠実、迅速対応をモットーとし、お客様のニーズにタイムリーに応える会社です。