ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!
株式会社ヒロテック 東京営業所
ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について
現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。
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サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」
・薬液温度:最高300℃
・接液部:全て石英
・排液用石英製アスピレター装備
・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備