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石英ナイトライドバス  QNシリーズ

最終更新日:2010年07月30日

株式会社ヒロテック 東京営業所
株式会社ヒロテック 東京営業所
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ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整

◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動/自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。 ◆Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。

    その他半導体エッチング装置
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石英ナイトライドバス  QNシリーズ

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基本情報

●ナイトライドエッチシステムは、ご希望通りのプロセスコントロールをお約束します。 ●この芸術的なコントロールはナイトライドエッチ用で安全・確実・合理的で、濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整する機能を持っています。 ●薬品の沸点を感知・管理するナイトライドコントローラーを開発しました。このコントローラーは濃縮リン酸液の沸点温度とレートをコントロールパラメーターによって操作できます。 ●このシステムを使用する事で2つの利点があります。 ・一定したプロセス ・LOT番号による繰り返し操作

価格情報

-

納期

~ 1ヶ月

用途/実績例

濃リン酸の使用と半導体成製プロセスにおける濃リン酸の達成温度と早いエッチレートで決定できます

この製品に関するニュース(1)

サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」

ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!

  • 製品ニュース

ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。

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株式会社ヒロテック

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産業用電気機器

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海外の電子電気機器を輸入販売する専門商社です。海外の最先端技術を応用した製品をいち早く紹介し、皆様のお役に立てる様に活動しています。 半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品を取扱っており各メーカーは非常にユニーク且つ特徴のある製品を製造しています。半導体産業においてはパターンの微細化が進んでおり、それに伴い洗浄効果が重要視されています。弊社が取扱っているIMTEC社製品は高性能、高効率、高清純、高純度で世界中の半導体ウェットプロセスのラインで使用されています。TREBOR社はノンメタルダイアフラムポンプにおいて常に業界をリードしています。 Celesco社製計測機器はあらゆる分野において直線変位または速度が簡単に計測できます。 信用第一、誠実、迅速対応をモットーとし、お客様のニーズにタイムリーに応える会社です。

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