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アキュヒート

最終更新日:2004年01月08日

株式会社ヒロテック 東京営業所
株式会社ヒロテック 東京営業所
  • 公式サイト

高純度石英を使用。高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーター

半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。 20年以上の経験に基づいて設計製作されたアキュヒートは高性能、低オーナーシップコストを実現しており、石英で使用できる薬品でのプロセスに使用できます。 【特長】 ◆インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター ◆外装はテフロン(PTFE)を使用 ◆高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要 ◆耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2) ◆コンパクトサイズ。縦置き/横置き共に設置可能 ◆3KW、6KWタイプ有り ◆24ヶ月保証 ◆メンテナンス不要:ランプ交換、反射鏡のクリーニング、冷却装置が不要。 ◆最適な加熱:高速昇温でありながらオーバーシュートがない温度制御 ◆多種のコントローラーが使用できますので、詳しくはお問い合わせください。

    その他ヒータ
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高純度石英インラインヒーター

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  • 関連リンク - http://www.hiro-tec.com/

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基本情報

半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。 20年以上の経験に基づいて設計製作されたアキュヒートは高性能、低オーナーシップコストを実現しており、石英で使用できる薬品でのプロセスに使用できます。 【特長】 ◆インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター ◆外装はテフロン(PTFE)を使用 ◆高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要 ◆耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2) ◆コンパクトサイズ。縦置き/横置き共に設置可能 ◆3KW、6KWタイプ有り ◆24ヶ月保証 ◆メンテナンス不要:ランプ交換、反射鏡のクリーニング、冷却装置が不要。 ◆最適な加熱:高速昇温でありながらオーバーシュートがない温度制御 ◆多種のコントローラーが使用できますので、詳しくはお問い合わせください。

価格情報

-

納期

~ 1ヶ月

用途/実績例

●硫酸・硝酸・その他の酸 ●リン酸 ●RCA、SC-1、SC-2洗浄 ●純水加熱 ●酸、フォトレジスト剥離

この製品に関するニュース(1)

サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」

ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!

  • 製品ニュース

ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。

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株式会社ヒロテック

株式会社ヒロテック 東京営業所

産業用電気機器

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海外の電子電気機器を輸入販売する専門商社です。海外の最先端技術を応用した製品をいち早く紹介し、皆様のお役に立てる様に活動しています。 半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品を取扱っており各メーカーは非常にユニーク且つ特徴のある製品を製造しています。半導体産業においてはパターンの微細化が進んでおり、それに伴い洗浄効果が重要視されています。弊社が取扱っているIMTEC社製品は高性能、高効率、高清純、高純度で世界中の半導体ウェットプロセスのラインで使用されています。TREBOR社はノンメタルダイアフラムポンプにおいて常に業界をリードしています。 Celesco社製計測機器はあらゆる分野において直線変位または速度が簡単に計測できます。 信用第一、誠実、迅速対応をモットーとし、お客様のニーズにタイムリーに応える会社です。

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