ウェハの表面温度均一性に優れ昇降温特性にも優れたヒーター
新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーターです。ウェハの表面温度均一性と昇降温特性に優れています。 【特長】 ■制御熱電対 ヒータ側壁挿入方式 (制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり) ■断熱材材質 外周：ファインフレックスペーパー 内周：高純度ファイバーモールド ※総合カタログ進呈。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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企業情報
株式会社三幸は、研究開発段階、量産段階まで使用される熱処理装置まで、設計、製造を行っているメーカーです。 弊社では特に研究開発に携わる皆様のアイデアを熱処理装置として形にする為、 機械設計、電気設計、制御（ソフト設計）、組立、テストなど全て弊社内にて一貫生産できる体制を 確立しております。 新規熱処理装置のご検討や、卓上型熱処理炉の大型化のご検討される際など、 是非株式会社三幸へお声がけください。
