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精密研磨機×株式会社パルメソ - メーカー・企業と製品の一覧

精密研磨機の製品一覧

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【研究・開発向け 分析前加工機械】超精密研磨装置『PERET』

未経験者でも簡単にできる精密研磨装置!難しい高精度な前処理が誰でもできる!深堀研磨の実現を可能にした超低角度斜め研磨と浮彫研磨!

『PERET』は、MSE技術から誕生した、観察・分析を目的とした試料作成時における分析前処理用研磨装置です。 弊社の新製品『PERET』は下記のようなお悩み... 『研磨をより精密にして、削った1μ単位で断面図を見てみたい』 『持っている顕微鏡で高度な分析を行いたい』 などの研究開発部門、製品分析などお客様のお悩みを解決するような製品になっています。 斜め研磨により、1回の研磨面から広い範囲を対象にSEMやXPSでの深さ方向の観察・分析が可能になります。 また、浮彫研磨により研磨面内の広いエリア内の欠陥や材質違いの分布などを精密に観察・分析することができます。 【特長】 ■nm削ることで発生する化学変質を起こさない ■浮彫研磨、斜め研磨、樹脂の変質無し研磨 ■高分解能10nm単位の研磨 ■断面を表面に出す研磨 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ウエハ加工/研磨装置

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