真空ガス置換オーブン
Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450℃ 高い温度安定性
特許技術のラミナーフロー方式 YES PBシリーズのチャンバーは上部にガス発生プレナム、下部の吸引プレナムがついており、 加熱されたガス(通常N2)はウェハに対して平行に流れます。 平行層流(ラミナーフロー)は加熱プロセスによってウェハ表面に発生したパーティクルを 除去するのに効果的です。 チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載 加熱されたプロセスガスは100um径の穴が開いたフィルタを通ってワークに到達し、 ワークを通り過ぎた後に再びフィルタを通過し、チャンバー外部へ排出されます。 これによりプロセスガス中のパーティクル量は非常に少なく、クリーンなガスでウェハを加熱することができます。 対流冷却機構 450PBの冷却は全てプロセスチャンバーの外部から行われ、処理されたワークが冷気に晒されることはありません。 チャンバーは、冷却エアインレットと排気ダクトを装備した独立キャビネットに囲まれています。 チャンバーを冷却して加熱されたエアは排気前に空冷と混合され、温度が下がった状態で排気されます。
- 企業：ハイソル株式会社
- 価格：応相談
