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接着剤や界面活性剤を一切使用しない為、溶出が極めて低いメンブレンフィルター！
『LPFPEシリーズ』は、ろ材にろ過精度の高いPTFE膜、構成部材に HDPEを使用しており、有機溶剤に優れた耐薬品性を持つフィルターです。 接着剤や界面活性剤を一切使用しない為、溶出が極めて低く、 フォトレジスト・レジスト原料・現像液・エッチング液など、 高純度薬液のろ過に適しています。 特にレジスト中のゲル状異物を効果的にろ過できます。 【特長】 ■ろ材にろ過精度の高いPTFE膜、構成部材にHDPEを使用 ■有機溶剤に優れた耐薬品性を持つ ■高純度薬液のろ過に適している ■特にレジスト中のゲル状異物を効果的にろ過できる ■全品出荷前に完全性試験を行う ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属汚染のリスク低減に！「薬液の品質に影響が…」「強アルカリ水溶液や酸性溶液からの金属除去を行いたい」等でお困りの方必見です。
半導体製造プロセスには様々なガス、薬液が使用されますが、これらはサプライチェーンでの輸送や製造中に使用される供給システムや容器への接触によって、常に原料や部材からの金属汚染のリスクにさらされ、半導体製造プロセスの工程の不安定化や歩留まり低減を引き起こします。 Cobetterでは、新規機能膜の開発やフィルタ構造の最適化により、困難とされてきた強アルカリ水溶液や酸性溶液からの金属除去が高効率で達成可能になるIonGardシリーズやリソグラフィ工程に使用される薬液に適したNylonpolarやMGS2Mシリーズ、またガス向けに開発されたGasPuriadv等のラインナップがあり、高効率で高寿命の金属除去を行えます。 【金属除去ラインナップ】 ■IonGardシリーズ ■Nylonpolar/MGS2Mシリーズ ■GasPuriadv また、これら機能膜をベースに組み合わせることにより、さらに様々なニーズに対応可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
