金属汚染のリスク低減に！「薬液の品質に影響が…」「強アルカリ水溶液や酸性溶液からの金属除去を行いたい」等でお困りの方必見です。
半導体製造プロセスには様々なガス、薬液が使用されますが、これらはサプライチェーンでの輸送や製造中に使用される供給システムや容器への接触によって、常に原料や部材からの金属汚染のリスクにさらされ、半導体製造プロセスの工程の不安定化や歩留まり低減を引き起こします。 Cobetterでは、新規機能膜の開発やフィルタ構造の最適化により、困難とされてきた強アルカリ水溶液や酸性溶液からの金属除去が高効率で達成可能になるIonGardシリーズやリソグラフィ工程に使用される薬液に適したNylonpolarやMGS2Mシリーズ、またガス向けに開発されたGasPuriadv等のラインナップがあり、高効率で高寿命の金属除去を行えます。 【金属除去ラインナップ】 ■IonGardシリーズ ■Nylonpolar/MGS2Mシリーズ ■GasPuriadv また、これら機能膜をベースに組み合わせることにより、さらに様々なニーズに対応可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期
※製品によって納期変動しますが、通常2ヶ月以内
用途／実績例
■IonGardシリーズ 純水、強アルカリ、強酸 ■Nylonpolar/MGS2Mシリーズ 有機溶剤、フォトレジスト ■GasPuriadv 半導体各種ガス
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企業情報
Cobetterは、各種精密濾過膜、ナノファイバー、限外濾過膜の研究開発により、世界中の半導体集積回路製造およびバイオ製薬産業に革新的な濾過・精製ソリューションを提供する世界最先端の新規技術を有する会社です。 中国は浙江省杭州に本社を置き、中国上海、日本、韓国、台湾、シンガポールの5箇所に子会社を置き、106カ国にわたる28000社以上の顧客にサービスを提供しております。日本コベッタは2019年2月に設立された小会社の一つであります。 現在、従業員4000人以上でその1000人以上はエンジニアが占め、現在十数種類以上の革新的濾過材を独自に開発し、300件以上の特許技術を所有しております。また、濾過材料の開発に加え、多様な用途に適したフィルタパッケージの開発、シングルユースバック(2D/3D)、クリーンドラムなど流体処理製品の生産からSUSハウジング、ろ過システムの設計・製造・検証まで一貫した濾過・分離産業チェーンを備えています。