小型ウエハー自動露光装置
LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です!
<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。 オリフラアライナーも装備
- 企業:株式会社清和光学製作所
- 価格:応相談
1~1 件を表示 / 全 1 件
LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です!
<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。 オリフラアライナーも装備