LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！
<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。 オリフラアライナーも装備
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基本情報
ワークサイズ ： φ2.4インチ（6インチ対応もラインナップ） 露光方式 ： バキュームコンタクト、ハードコンタクト、 プロキシミティ ランプハウス ：500W 照度 ：17mW/cm2（3.5KW） 照度分布 ：±3％以内 アライメント精度：±1μｍ以下 タクト ：130-150枚/H
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納期
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用途／実績例
LED/水晶デバイス
企業情報
光学をベースに未知の世界へ挑戦します。 ２１世紀は≪光の時代≫と言われるほど、光技術の進歩には目覚しいものがあります。物づくりする当社におきましては、その、≪光技術≫を核として、未来指向の技術力をよりスピーディーに進め、時代が必要としている・情報技術 ・超微細技術 ・科学技術に進んで挑戦し、迅速に行動するパワーあふれる企業でありたいと思っております。また、同時に新世紀にふさわしい革新を常に推進し、安全で信頼のおける製品づくりと、世界に必要とされる企業であり続けることを目指し、より豊かな社会に積極的に取り組んでいく所存であります。 今後とも、皆様の一層のご指導とご支援を心からお願い申し上げます。