更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 ・ウォーターマークフリー ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 ・微細パターンへ対応可能 ・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
CO2ガスによる自動消火システムを装備
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。
高効率乾燥処理、燃焼装置未利用 過熱蒸気乾燥処理装置のフロー図
過熱蒸気発生装置を使った乾燥装置。過熱蒸気発生装置は、パイプそのものが電気ヒーターになっているため、ガスバーナーで蒸気を加熱したり、ヒーターで温めたパイプに蒸気を通したりする従来の方式に比べて効率が高く、空気の４倍の熱量を伝達。また常圧で過熱蒸気を発生させるため、低温から超高温まで、圧力による制約を受けずに温度をコントロールでき、爆発の心配もない。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
工場などで余剰の蒸気があれば、乾燥機に利用することも可能！ケーキ減量化などに大きく貢献
『SD型』は、蒸気で2本のドラム表面を加熱し、脱水ケーキを表面に 吸着させることで乾燥させる機器です。 工場などで余剰の蒸気があれば、乾燥機に利用することも可能。 有機汚泥の脱水ケーキを乾燥させることで、ケーキ減量化などに 大きく貢献します。 【特長】 ■蒸気で2本のドラム表面を加熱し、脱水ケーキを表面に 吸着させることで乾燥 ■工場などで余剰の蒸気があれば、乾燥機に利用することも可能 ■有機汚泥の脱水ケーキを乾燥させることで、ケーキ減量化などに 大きく貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドラム回転制御 大口径ドラムによるタンブリング効果 布団乾燥・大物洗濯乾燥・プロの洗浄力
【12/1(水)?12/2(木) 2021 TOSEI展示会開催致します】 https://bit.ly/3GtzlVD 独自のドラム回転制御 変形ハットの効果でムラなく乾燥 乾燥容量13kg ★★
ドラム回転制御 大口径ドラムによるタンブリング効果 布団乾燥・大物洗濯乾燥・プロの洗浄力
【12/1(水)?12/2(木) 2021 TOSEI展示会開催致します】 https://bit.ly/3GtzlVD 独自のドラム回転制御 変形ハットの効果でムラなく乾燥 乾燥容量22kg ★★
ドラム回転制御 大口径ドラムによるタンブリング効果 布団乾燥・大物洗濯乾燥・プロの洗浄力
【12/1(水)?12/2(木) 2021 TOSEI展示会開催致します】 https://bit.ly/3GtzlVD 独自のドラム回転制御 変形ハットの効果でムラなく乾燥 乾燥容量35kg ★★
