IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 ・ウォーターマークフリー ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 ・微細パターンへ対応可能 ・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
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基本情報
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。 スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 ●装置サイズ(スタンドアローン型)(mm): 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H) ●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水 ●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ・シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥
企業情報
1930年（昭和5年）に輸出入の専門商社として発足し2020年で創立90周年を迎え、渡辺商行グループの更なる発展に全力で取り組んでいるところでございます。 1960年代半ばより、半導体業界に対しケイ素(Si)関連製品を販売する方針のもと、石英加工品、シリコーンゴム成形品、洗浄装置などの自社製品を製造販売を開始いたしました。 モノづくり商社として、質の高い製品・サービスを提供することにより、IT社会の成長とともに成長してまいりました。 今後とも株式会社渡辺商行を中核とするグループ各社の社員が、毎日活き活きと働き、職場全体が学びの組織となる会社づくりを目指します。 そして、社会の真のニーズに応える強い意志を持ってこれからも日々あらゆる事業に邁進していく所存です。 今後とも益々のご支援とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。