IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT ＩＰＡベーパー
CO2ガスによる自動消火システムを装備
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
蒸気乾燥機(ガス) - メーカー・企業と製品の一覧
蒸気乾燥機の製品一覧
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IPA蒸気乾燥装置
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 ・ウォーターマークフリー ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 ・微細パターンへ対応可能 ・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
- 企業：株式会社渡辺商行
- 価格：応相談
過熱蒸気乾燥処理装置フロー図
高効率乾燥処理、燃焼装置未利用 過熱蒸気乾燥処理装置のフロー図
過熱蒸気発生装置を使った乾燥装置。過熱蒸気発生装置は、パイプそのものが電気ヒーターになっているため、ガスバーナーで蒸気を加熱したり、ヒーターで温めたパイプに蒸気を通したりする従来の方式に比べて効率が高く、空気の４倍の熱量を伝達。また常圧で過熱蒸気を発生させるため、低温から超高温まで、圧力による制約を受けずに温度をコントロールでき、爆発の心配もない。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社実践環境研究所
- 価格：応相談
