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金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置
『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。 原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、 コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。 【特長】 ■コスト低減 ■金回収率向上 ■環境負荷低減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能
『VALIUS（バリウス）』は、レジスト・ペースト除去が出来る、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 コンパクトな設置面積（本体）を実現しています。 連続処理で500枚／時以上の超高速処理が可能。 原料は「水」なので、化学薬品の使用量を大幅に低減することが できる環境にやさしい装置です。 【特長】 ■コスト低減 ■コンパクト設計 ■超高速処理能力 ■環境負荷低減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載
『ASTE（アステ）』は、エッチング後のポリマ除去や、 ウエハ上の異物除去 （ブラシスクラバの置換え）が出来る、 金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。 高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマと レジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。 原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。 【特長】 ■コスト低減 ■工程数削減 ■環境負荷低減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
