【コーティング事例】シリコンウエハ基板へのTiN膜コーティング
Alスパッタ＋陽極酸化に耐える事ができ、規格を満たす事ができた事例をご紹介致します
東京都八王子市にある首都大学東京様からシリコンウエハ基板にAlを スパッタし陽極酸化処理を施したいが、密着性や特性等が規格を 満足する事がでいず困っていると相談がありました。 TiN膜を初層に成膜することにより、どのような変化を示すのか確認 したいもだが、試作のみの案件になるため他の会社では断られ、成膜 してくれる会社がなく困っていました。 大学では薄膜電極層についての研究がおこなわれているとの事でした。 シリコンウエハ基板にTiN膜コーティングを処理した場合、テープテスト でも剥がれてしまうケースが多く、密着性に大きな問題があります。 そこで、密着性を向上させるために初層膜にバインダーコートを行った 後にTiN膜処理を行う事を提案しました。 ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ケンコー・トキナー 本社
- 価格：応相談
