薬液塗布 - メーカー・企業と製品の一覧

【半導体向け】精密マイクロポンプによる薬液塗布

半導体製造における薬液塗布を、より的確に、より正確に。装置の仕様要求を簡単にクリア。

半導体業界における薬液塗布では、ウェーハへの均一な塗布が製品の品質を左右します。特に、微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な分注が不可欠です。不適切な分注は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社のマイクロポンプは、1μl～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 【活用シーン】 ・ウェーハへのレジスト塗布 ・エッチング液の供給 ・洗浄液の供給 ・CMPスラリーの供給 【導入の効果】 ・高精度な液量制御による歩留まり向上 ・多様な薬液への対応 ・装置の小型化、省スペース化 ・メンテナンス性の向上