表面検査装置×株式会社ジャステム - 企業1社の製品一覧

ウェーハ表面検査機（VSI-01型）

ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です

・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。 ・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。

• 企業：株式会社ジャステム
• 価格：応相談

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置