自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）、炭酸ナトリウム、コリン水溶液など多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■安定した現像プロセス！ ■低価格 ■自動サイズウエハ認識 ■多彩な薬液に実績あり ■仕様に合わせたコンパクト設計！ ■生産量に合わせた装置ラインアップ デモ設備は常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします。
- 企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
- 価格：応相談
