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装置用分析機器 - メーカー・企業と製品の一覧

装置用分析機器の製品一覧

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【技術部紹介】分析業務

使用前・使用後・ダストNG 時等のデータ分析や形状測定を行いお客様へフィードバック!

株式会社リボラスでは、半導体製造装置内パーツの 分析・及び測定を行っております。 使用前・使用後・ダストNG 時等のデータ分析や 形状測定を行い、お客様へフィードバック。 分析結果よりNG要因等の特定 形状や材質の変更や、 改善により長寿命化のご提案をさせていただきます。 【分析概要】 ■レーザースキャン測定:非接触による断面形状 ■3D画像解析:立体による形状確認 ■劣化量分析:新品との劣化量比較 ■SEM(EDX分析):付着物や材料の成分分析 ■X線分析:金属系の成分分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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