赤外顕微鏡(目視検査) - 企業1社の製品一覧

赤外顕微鏡

透過赤外光の照明調整でIR明視野・暗視野検査での検査ができます

半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。 TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• 企業：株式会社アイティ・テック
• 価格：応相談

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