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インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1 000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR30-E3は500 [P/R] 、 USR30-E3Tは1 000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1 000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR60-E3は500 [P/R] 、 USR60-E3Tは1 000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
安定した回転性能・大きな保持力・高い静粛性を実現！
超音波モータは圧電セラミックに電圧を加えたときの変形を利用して回転します。その電圧の周波数が人の可聴音域（20kHz以下）を超えていることから 超音波 モータと命名されました。 その後、新生工業製超音波モータ：USRシリーズは改良を積み重ね、機能性、信頼性の向上を目指してきました。 その技術の結晶が、直径30mmのUSR30シリーズ、直径60mmのUSR 60シリーズです。 これまでの努力の結果、USRシリーズは世界中の多くの企業や学術機関で採用され、超音波モータのデファクトスタンダードとして高い評価を得ています。 現在はUSR30シリーズ、USR60シリーズ共に一般環境における利用を想定した標準型モータ、高磁場環境における利用を想定した非磁性型モータを製造、販売しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
