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ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1 000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR60-E3は500 [P/R] 、 USR60-E3Tは1 000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 超音波モータ 標準型ベーシックモデル USR30-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1 000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR30-E3は500 [P/R] 、 USR30-E3Tは1 000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
応答性・静粛性に優れ、強磁場環境でも使用できます。無通電時に保持トルクを有し、電源を切ればその場でピタリと停止します。
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動させます。 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■電源オフでも保持力があり、減速機が不要 ■ボールねじを必要としないため、応答性が良くバックラッシュがない ■減速機やボールねじが不要のため、ステージの小型化が可能 ■静粛性に優れる ■磁気の影響を受けず、電磁波を発生しない ■微細動作が可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
秒速200mmで動作＆最小20nmの位置決め精度。無通電時にも保持力を有し、減速機不要
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた 強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、 摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動。 秒速200mmの動作速度と、最小20nmの位置決め精度を実現しています。 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、 電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■低速高トルクを実現 ■13gからの小型・軽量仕様 ■磁気の影響を受けず、電磁波の発生もなし ■顕微鏡・MRI強磁場環境用ステージ、小型ロボットなどに活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
秒速200mmで動作＆最小20nmの精密な位置決めが可能(※)なので、小型ロボット・顕微鏡などのステージにオススメです！
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動。 秒速200mmの動作速度と、最小20nmの位置決め精度(※)を実現しています。 ※ドライバー基板（サブミクロン対応）開発中 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■低速高トルクを実現 ■13gからの小型・軽量仕様 ■磁気の影響を受けず、電磁波の発生もなし ■顕微鏡・MRI強磁場環境用ステージ、小型ロボットなどに活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
