超音波モータ 標準型 モデル USR30-Bシリーズ
ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 超音波モータ 標準型ベーシックモデル USR30-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1,000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR30-E3は500 [P/R] 、 USR30-E3Tは1,000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1,000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR60-E3は500 [P/R] 、 USR60-E3Tは1,000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能!
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した非磁性型モデル
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-ENシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した 非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1,000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR30-E3は500 [P/R] 、 USR30-E3Tは1,000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能!
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した非磁性型モデル
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-ENシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1,000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR60-E3は500 [P/R] 、 USR60-E3Tは1,000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ(最新型) 1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ(標準型) 1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ